제품소개

YAS는 세계 최초 대면적 OLED 양산설비 제작 업체로, 독보적인 성능의 OLED System을 보유하고 있습니다.

YAS OLED System(XTR & QCM)

XTR & QCM

XTR


Description

증발원의 온도와 증착 속도를 컨트롤 / 모니터링

응용분야

  • OLED용 증발원의 온도 및 증착 속도 PID 컨트롤
  • MBE / E-Beam 시스템의 박막 두께 컨트롤
  • 그 밖의 증착 장비 응용

Specification

8.4" TFT Color LCD

직관적이고 편리한 GUI 제공

터치 기능으로 조작이 편리

Auto-Tuning 기능 내장

Ethernet 통신기능을 기본 내장함으로써 PLC 및 PC와 연동 가능

QCM


Description

고진공 환경에서 수정 진동자를 이용한 유기 및 무기 물질 증착 진행 시 증착량 측정 기능

Absolute Encoder를 자체 내장하여 센서의 정확한 위치 결정 운전 가능

자체적 Motor Driver 내장으로 제어 기능 강화

Chopper를 사용 하여 수정 진동자의 수명 연장

Chopper 혼용을 방지하기 위한 Adapter 사용

Specification

Number of Crystal : 10 (14mm diameter)

Crystal switching method : Stepping Motor driving

Cooling method : Water cooled

Interface : Ethernet Connection

Power requirement : 24V (dc)