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Chuck System Non-chucking Glass Chucking Glass 기판용 Chuck Chucking De-Chucking Description YAS 고유의 기판 고정 장치. 대면적 기판을 처짐없이 이송하며, 마스크 디자인의 제한이 없음. 적용분야 대면적 OLED 양산 및 연구 라인 Specification 대응 기판 : 2G ~ 10.5G 기판 Size 및 구성에 따라 전용 Chuck 개발 Shadow 방지기술 적용 정전기 방지기술 적용 Plate의 처짐량을 고려한 최적의 Pocket 구조 적용
대응 기판 : 2G ~ 10.5G 기판 Size 및 구성에 따라 전용 Chuck 개발 Shadow 방지기술 적용 정전기 방지기술 적용 Plate의 처짐량을 고려한 최적의 Pocket 구조 적용